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OLED
OLED 선형 증발원

본 제품은 OLED 유기 박막의 생성을 위해 사용되는 증발원으로, 양산을 위한 5.5세대 
선형 증발원입니다.

BE-550S
BE-550S
제품설명
기판 : 5.5G5.5G(1300x1500㎟)
균일도 : ~ 3%
증착속도 : 0.1A/s ~ 20Å/s
TS : 최소. 250mm

특징
대면적 기판 증착 (G2~G5.5)
균일한 박막 두께 분포(<3%)
TS 거리에 따른 증착기 설계
사용자의 공정 스펙에 맞게 온전히 커스터마이즈 가능

적용
OLED 증착 (2세대~8세대)

선형 증발원 컨셉트
지제이엠의 선형 증발원은 레고 블록처럼 모듈화 형태로 구성되어 있어 고객님이 원하는 다양한 기판 크기에 적용할 수 있습니다.BRICK CELL SOURCE
실험데이터
Experimental Data
OLED 고진동 챔버
이 제품은 증착 시험에 사용되는 5.5세대 고진공 챔버입니다.
BE-550S
BE-550C
Specification
사이즈 : 2000×1600×1100 (mm)
진공도 : 5.0E- 10-7 torr

특징
선형 증발원 스캐닝
소스 셔터 포함
기판 홀더 장착

적용
OLED 증발시험