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태양전지 width=
CIGS 증착장비

이 제품은 태양전지(CIGS)의 셀에 대한 R&D 제조 장비로, Cu, In, Ga, Se의 동시 증착을 통한 광흡수층을 제작할 수 있습니다.

OLED Linear Source
BE-100PE
제품설명
기판 사이즈 : 100×100㎟ / 200×200㎟
증발 재료 : Cu, In, Ga, Se(동시 증발법)
기판 가열 : 최대. 600 ℃

특징
고진공 (under 10-7 torr)
PID control for the temp. and rate
PC/PLC control system

적용
CIGS 연구개발