R&D 증착기
제품소개
| 제품명 | BE-100ODC |
|---|---|
| 설명 | OLED 소자 연구개발용 시스템입니다. 유/무기 개별 증착 및 소자 제작 가능 |
제품사양
| 챔버 사이즈 | Dia 450 x 500H |
|---|---|
| 진공도 | 5x10-06 torr |
| 기판 사이즈 | 100mm |
| TS | 300mm |
| 비고 | Substrate Rotation |
제품특징
| 특징 및 장점 | 기판 회전 |
|---|---|
| 소스 및 기판 셔터 장착 | |
| 기판 홀더 장착 | |
| PC/PLC 시스템 컨트롤 | |
| 온도 및 증착 속도 PID 컨트롤 |
R&D 증착기
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2018-03-02T16:04:43+00:00