CIGS 증착 장비
제품소개
| 제품명 | SC-100PC |
|---|---|
| 설명 | 이 제품은 태양전지(CIGS)의 셀에 대한 R&D 제조 장비로, Cu, In, Ga, Se의 동시 증착을 통한 광흡수층을 제작할 수 있습니다. |
제품사양
| 기판 사이즈 | 100×100mm / 200×200mm |
|---|---|
| 증발 재료 | Cu, In, Ga, Se(동시 증발법) |
| 기판 가열 | 최대 600℃ |
| 균일도 | < 3% |
제품특징
| 특징 및 장점 | 고진공 (under 10-7 torr) |
|---|---|
| CIGS 동시증착 가능 | |
| CIGS 연구개발에 적용 |