유기물 증착원
제품소개
| 제품명 | BE-550S |
|---|---|
| 설명 | OLED 유기 박막의 생성을 위해 사용되는 증발원으로, 양산을위한 5.5세대 선형 증발원입니다. |
제품사양
| 유형 | 수평 증발형태 |
|---|---|
| 기판 대응 사이즈 | 2G~5.5G |
| 균일도 | < 3% |
| 증착 속도 | 0.1~20Å/s |
| 증착원 - 기판 거리 | 250 ~ |
| 용량 | 3000cc |
제품특징
| 특징 및 장점 | 대면적 기판 증착(G2~G5.5) |
|---|---|
| 균일한 박막 두께 분포(<3%) | |
| TS거리에 따른 설계 | |
| 고객의 공정에 맞춤형 제작 |