무기물 증착원
제품 소개
| 제품명 | BE-50~500PS |
|---|---|
| 설명 | OLED 응극측을 구성하는 재료(Ag, Mg, LiF, Al...)를 증발시키는데 사용되는 effusion source입니다. |
제품사양
| 히터 유형 | 싱글 & 더블 |
|---|---|
| 히터 열선 | 탄탈륨 (와이어, 면) |
| 용량 | ~ 500cc |
| 도가니 | PBN, Graphite |
| 열전대 | C-Type |
| 공정 온도 | ~1200°C |
제품특징
| 특징 및 장점 | 무기물(Ag, Mg, LiF, Al...) 증착 |
|---|---|
| 균일한 박막 두께 분포 (<3%) | |
| 고객의 공정에 맞춤형 제작 |